发布时间：2024-04-28 来源：网络
半导体金刚石的研究进展 随着电子工业的发展，对于半导体材料的需求越来越高。传统的半导体材料如硅、镓砷化镓等已经无法满足高功率、高频率及高温等极端要求下的应用。而金刚石材料是一种优良的材料，在高功率、高频率以及高温等极端环境下都有着出色的表现。本文主要对半导体金刚石的研究进展进行综述。 一、概述 金刚石是由碳原子通过高温、高压等特殊条件下形成的一种高硬度、高导热、高导电、化学惰性的材料。通过对其掺杂或改性可以使其成为一种半导体材料，即半导体金刚石。半导体金刚石结构紧密，晶格异向性小，具有优异的电学、热学和机械学特性，具...
半导体金刚石的研究进展 随着电子工业的发展，对于半导体材料的需求越来越高。传统的半导体材料如硅、镓砷化镓等已经无法满足高功率、高频率及高温等极端要求下的应用。而金刚石材料是一种优良的材料，在高功率、高频率以及高温等极端环境下都有着出色的表现。EMC体育 EMC易倍体育本文主要对半导体金刚石的研究进展进行综述。 一、概述 金刚石是由碳原子通过高温、高压等特殊条件下形成的一种高硬度、高导热、高导电、EMC易倍体育 易倍EMC化学惰性的材料。通过对其掺杂或改性可以使其成为一种半导体材料，即半导体金刚石。半导体金刚石结构紧密，晶格异向性小，具有优异的电学、热学和机械学特性，具有广阔的应用前景。 二、制备技术 半导体金刚石可通过化学气相沉积（CVD）和高压高温（HPHT）等方法来制备。 CVD 法是一种通过化学反应将原料气体在金刚石晶体表面诱导形成晶体的方法。利用 CVD 法制备的金刚石晶体具有高质量、晶体尺寸可控以及成本低等优点。 HPHT 法是利用高温和高压将钴基催化剂、石墨和金属钛等原料与金刚石单晶种子进行反应，从而制备金刚石单晶。该方法制备的金刚石单晶品质高，晶体尺寸大，但成本较高。 三、EMC易倍体育 易倍EMC半导体金刚石的性质 半导体金刚石的电学性质优异，其电子迁移率比硅、硒化铟等传统半导体材料要高，可以作为高功率、高频率器件的理想选择。此外，半导体金刚石的导电性能也很优秀，电性能甚至可以达到金属的水平。同时，半导体金刚石还具有优异的热学和机械学特性，其热传导系数是铜的 4 倍以上，热膨胀系数和弹性模量也远高于常规的半导体材料。
